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風(fēng)淋室因?yàn)榧庸ぞ仍絹?lái)越精細(xì)！文章概要：干凈的空間溫濕度按照工藝原則來(lái)確定，但是在滿足工藝要求的前提，風(fēng)淋室給人一種舒服感。同時(shí)也跟著壞境的的要求提高，呈現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)格。具體工藝對(duì)溫度的要求當(dāng)前還要改進(jìn)，但作為總的原則來(lái)看，因?yàn)榧庸ぞ仍絹?lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度的要求越來(lái)越小。比如在大規(guī)模集成電路出產(chǎn)的工藝中，作為膜板資
干凈的空間溫濕度按照工藝原則來(lái)確定，但是在滿足工藝要求的前提，風(fēng)淋室給人一種舒服感。同時(shí)也跟著壞境的的要求提高，呈現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)格。具體工藝對(duì)溫度的要求當(dāng)前還要改進(jìn)，但作為總的原則來(lái)看，因?yàn)榧庸ぞ仍絹?lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度的要求越來(lái)越小。
比如在大規(guī)模集成電路出產(chǎn)的工藝中，作為膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性膨脹，所以必需有0.1度的恒溫。、
風(fēng)淋室同時(shí)要求濕度值正常較低，由于人出汗當(dāng)前，對(duì)產(chǎn)物將有污染，因?yàn)榧庸ぞ仍絹?lái)越精細(xì)，這種車間溫度不宜跨越25度，相對(duì)濕度跨越55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，若是產(chǎn)生在細(xì)密安裝或電路中，就會(huì)惹起各類變亂。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
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